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ローラーシャフト

ローラーシャフトは、半導体製造装置に取り付けられ、ウェハやレチクル、その他の敏感な材料を正確に支持・ガイド・搬送するための精密な軸部品です。通常、アイドラプーリー、ドライブプーリー、またはプーリーとともに取り付けられます。主な機能は、精密な搬送と位置決め、そして清浄性の維持です。

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ローラーシャフト
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ローラーシャフト
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素材:304ステンレス鋼

プロセス:CNC加工

目的:ウェハ、レチクル、またはその他の敏感な材料を正確に支持、ガイドし、搬送するために使用される精密シャフト部品。

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